非自耗真空电弧炉是利用等离子体的高温、高能量和高活性进行金属材料的熔炼和自然晶体生长。真空电弧加热方式使用射频(RF)发生器产生高频应用场来引导铝箔放电，形成电弧及其等离子体。当铝箔被加热到其熔点以上时，它流动到集合内静电场所达到的垂直表面之上，随即由于放电中所释放的热量再次熔融。
通过射频激励产生的正交场驱使电子和离子振荡同时进行，从而沿水平方向等离子体根据振荡情况形成横立电极间的放电，将铝箔熔化。产生等离子体振荡与固体的粉末材料喷入同步进行，使晶体从等离子被构成之间的沉积所形成。
为了使炉内通量达到这么高，非自耗真空电弧炉采用了复合泵结构。它的系统由机械泵，分子泵和涡流泵三个主要元素组成。机械泵接在实验的气缸中，可以把气压降低到10~20Pa。在机械泵附近的地方，有一台分子泵，该泵通过热板对时机长出的气体进行压缩。因此，把机械泵科学地注入高分子涂层膜后，很快就可以将在炉内流动的气压降低到10-6mbar下面，这样也可以使处理材料时营造适合的环境。
非自耗真空电弧炉的加热功率主要由射频发生器和变压器组成，射频发生器可以使铝箔在等离子工作区之间发生放电。而变压器可以将这些高频脉冲转换为更高的直流电压，用于引导表面放电产生对物料的额外加热。所以，通过调整射頻發生器的输出功率来控制加热功率。真空度的控制会随着动态泵的运转，电机泵中残留气体压强很弱。再次使用微分和分析两种传感器来进行控制。
